能动磨盘加工工艺及智能控制研究

来源 :中国科学院光电技术研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:douche
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在大型光学系统中,非球面光学元件的采用能减少光学系统的复杂性、尺寸和重量从而有效的提高光学系统性能,因此,研制高质量的大尺寸高陡度非球面光学元件对空间光学、天文光学和军用光学的发展有极为重要的意义,对此,本文开展了以大型非球面主镜计算机控制能动磨盘加工(Computer Control ActiveLap)技术为核心的相关先进光学制造技术的研究。 相对于经典加工固有的局限和小尺寸磨具加工形成的局部中高频残差以及低加工效率,能动磨盘技术采用大尺寸刚性盘作为基盘,在周边可变应力的作用下,盘的面形可以实时的变形成所需要的面形以适配非球面的不同位置上的吻合研磨。因而能动磨盘研抛技术具有优先去除表面最高点或部位的特点,具有平滑中、高频差的趋势,可以很好地控制中、高频差的出现,有效的提高加工效率。围绕着大型非球面主镜计算机控制能动磨盘加工(Computer Control ActiveLap)技术开展的主要研究工作和创新点包括: 1、根据能动磨盘的结构和工作特点,建立了基于Preston方程的能动磨盘加工去除函数模型、工件的能动磨盘磨削模型和加工的边缘效应模型,并分析了能动磨盘的加工特性。在φ1300mm(F/2)非球面主镜能动磨盘加工(CCAL)实验中,以该模型预测的主镜加工面形与经高分辨Hartmann-Shack传感仪检测的实际面形基本吻合。 2、分别建立了基于Preston方程的能动磨盘与小工具数控加工的去除函数模型,分析了两种加工工具在主镜制造过程中的特性,并在φ1300mm(F/2)非球面主镜加工实验的基础上,根据主镜面形ZYGO干涉仪和高分辨Hartmann-Shack传感仪的检测数据,利用功率谱密度(PSD)进一步探讨了这两种工具在主镜加工中所产生高频差。根据能动磨盘加工(CCAL)与数控加工(CCOS)各自的加工特性,提出了将能动磨盘加工(CCAL)与数控加工(CCOS)相结合的主镜加工工艺新方法,从而提高加工效率并有效地控制主镜加工中的中高频差。 3、建立了大型非球面三坐标的测量和原始检测数据的处理方法,对用该方法测量的原始数据进行了分析,并对该数据先后进行了补偿处理、单条径线倾斜和偏移剔除处理、再将处理后的数据用Gram-Schimdt正交化拟合出Zernike多项式的系数,剔除Zernike多项式的系数的倾斜项和常数项,使最终处理的检测面形与Hartmann-Shack检测的面形基本吻合,实现了大型非球面主镜研抛过程中接触式测量与光学测量的无缝衔接。4、针对能动磨盘系统高度的非线形和复杂的光学加工任务要求,将CMAC神经网络引入了能动磨盘的变形控制。以能动磨盘面形参数作为CMAC神经网络的输入样本,伺服控制单元的脉冲电压作为CMAC神经网络的输出样本,通过对样本的学习使CMAC神经网络的输出满足精度要求,从而拟合出能动磨盘驱动电压与盘面变形的非线性关系,再将训练完成的网络作为控制器实现能动磨盘的智能控制,通过仿真和实验验证了该方法的可行性和有效性。 5、从能动磨盘的面形几何方程出发,用麦可劳林公式对方程进行级数展开,再对其进行Zernike多项式的变换,以变换后的多项式和对应的系数组成的数学模型来表征能动磨盘面形的变化。在由60单元微位移阵列传感器构成的能动磨盘面形检测平台上,将检测到的原始数据用最小二乘法剔除检测数据中的倾斜,再以最小二乘法拟合出表征磨盘面形变化的系数,提取系数中对能动磨盘面形变化起主要作用的四项系数,将此系数作为训练CMAC神经网络逆控制器的训练样本,从而建立了针对能动磨盘CMAC神经网络智能控制的磨盘面形表征和检测方法。
其他文献
学位论文主要对LED作为非相干光源通过光纤结构产生空心光束的方法进行系统的理论和实验研究,论文内容主要包括以下几个部分:  1.介绍了空心光束和基于光纤结构产生无衍射光束
摘要:桩板结构是高速铁路无砟轨道一种新的下部基础结构型式,由钢筋混凝土桩、路基土体和钢筋混凝土承载板组成。桩板结构充分利用桩-土、板-土之间的共同作用来满足无砟轨道
近几年来,负折射率材料由于其独特新颖的物理性质和诱人的应用前景而获得了国际学术界的广泛关注,并已成为当前国际电磁学界和光电子学界非常前沿和热门的研究领域之一。当光波
我国的公路勘测设计正逐步进入电子化、自动化阶段,带来了其集成化、一体化的不断推广和应用,这就对公路勘测设计一体化技术应用的效率提出了更高要求。但是我国目前并没有专门
学位
随着我国铁路运输的高速发展,对捣固稳定车的需求量越来越大,对其要求也越来越高,因此需要对其动力学进行精确的分析。本文以DWL-48型捣固稳定车系统为研究对象进行研究:  首
条码技术是在计算机应用和实践中产生并发展起来的广泛应用于商业、工业生产过程控制、交通等领域的一种自动识别技术,具有响应速度快、识别度高、成本低等优点。近年来,由于
椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后的偏振态的改变来获得薄膜材料的光学常数和薄膜厚度的高精度、非接触测量方法。但是通过椭圆偏振测量只能得到椭偏参数Ψ和⊿,由椭偏参数求解薄膜结构参数的椭偏方程是一个超越方程,很难得到精确的解析解,因此一般采用数值反演迭代不断逼近测量数据,将最优解作为测量结果。 本文对椭圆偏振光谱测量的数据处理进行了研究。研究了光学薄膜系统模型(结构模型和
学位论文设计了一种 LED透镜可直接用 LED光源产生 Bottle beam,另外还对 LED光源产生高阶 Bessel光束,及 LED产生高阶 Bessel光束的自再现特性和与相干性相关的涡旋 Bessel光