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有机电致发光器件（OLEDs）在信息显示、固体照明以及柔性显示器等领域具有广泛的应用,因而,备受科学家的关注。在ITO阳极和有机功能层之间插入自组装单分子层是获得高亮度、高效率有机电致发光器件（OLEDs）的重要过程。本篇论文系统研究了不同种类的自组装分子对ITO表面性质的影响,并通过制备OLED器件进行光电性能表征。通过使用不同链长的有机硅烷自组装分子,系统研究了全氟硅烷自组装单分子层对阳极ITO表面性质的影响,采用接触角测试、原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）、紫外-可见吸收光光谱（UV-vis）和光电子能谱（PES）等测试表征了ITO玻璃基片的表面性质。经过有机硅烷分子自组装界面修饰,TFPMS-ITO、HF13DES-ITO和HF17DES-ITO的接触角分别增加到79.67°、89.40°和108.9°,表面功函数分别增加到5.01 eV、5.14 eV和5.51 eV。实验结果也表明,对于绿光OLED器件,经过有机硅烷分子自组装界面修饰后,器件性能明显提高。其中,基于阳极TFPMS-ITO的器件性能最优,最大电流效率为5.0 cd/A,最高亮度为28291.50 cd/m2。芳香类膦酸和直链类膦酸分别在ITO表面形成自组装单分子层（SAMs）,通过光电子能谱测试出ITO的功函数从4.82 eV分别提高到5.00 eV、5.20 eV和5.54eV、5.81 eV。ITO表面的水接触角也由46.45°分别增大到85.33°、87.09°和109.7°、110.6°,使得ITO/HTL界面处的表面能更加匹配。自组装单分子层不仅可以修饰ITO表面及功函数,而且还能促进空穴传输,因此提高OLED器件的电荷平衡。与使用空白ITO作阳极的OLED器件相比,芳香类膦酸和直链类膦酸自组装单分子层修饰的器件亮度分别提高到27251.86 cd/m2和29245.49 cd/m2,发光效率提高到3.62 cd/A和6.09 cd/A,启亮电压降低到3.0 V和2.8 V。使用十二烷基膦酸（DPA）和全氟十二烷基膦酸(HF21DPA)制备的混合自组装单分子层,可以通过控制单分子层的组分比例（1:0、2:1、1:1、1:2、0:1）,将ITO表面功函数从5.10 eV到5.81 eV之间进行调控。对于结构是ITO/Mixed-SAM/NPB（25 nm）/Alq3（60 nm）/LiF（1 nm）/Al（100 nm）的器件来说,DPA/HF21DPA的组分比例为1:2时,器件性能最佳;而将空穴传输层从NPB换成TCTA后,单一组分的HF21DPA-ITO作阳极时,器件性能最佳。