压电致动器广泛应用于精密机械加工、微小振动控制、光学校准及精密位移测量等领域,是一种兼具响应速度快、位移分辨率高、体积小及输出力大等优点的高性能位移致动器。但是,在电压驱动下,压电致动器自身具有的迟滞特性严重影响了定位精度。本文提出一种用于堆栈式压电致动器的分时独立驱动方法,用于实现开环状态下的低迟滞驱动。论文主要完成的工作及成果总结如下:(1)首先基于压电致动器的传统物理驱动模型,分析了迟滞量产生累加的原因,提出了一种应用于堆栈式压电致动器,用于消除迟滞量累加的低迟滞独立驱动方案。(2)分析了低迟滞独立驱动逻辑,在不改变原始驱动信号的原则下,设计了用于实现低迟滞驱动方案的驱动电路,并完成了电路的测试。(3)利用设计的驱动方案和驱动电路实现了低迟滞独立驱动,并对该方法进行了实验验证。实验结果表明,与传统的电压并联驱动方法相比,采用本文提出的低迟滞独立驱动方法,对于自制的七层堆栈式压电陶瓷,在0.1Hz～10Hz的驱动频率范围内,迟滞由12.5%降低到2.7%之内,有效的降低了迟滞。(4)对压电致动器低迟滞驱动方案和驱动电路进行改进,从而降低了实验的复杂程度和实验成本。设计了一款用于驱动小容性负载的电压放大器。通过实验验证了优化后驱动方案和硬件驱动电路的有效性。本文提出的独立驱动方法可以大幅的降低堆栈式压电致动器在开环下的位移迟滞特性,有效的提高定位和驱动性能,并可以节约成本,具有一定的实际应用价值。