本文利用磁控溅射技术以石墨靶为碳元素来源，在高速钢、45＃钢和单晶硅基体上制备了不同C含量的CrCN镀层和CrTiAlCN复合镀层。采用XPS、XRD、TEM、SEM及AFM对镀层的化学成分、相、微观结构及形貌进行了分析；对镀层的硬度、韧性等力学性能进行了研究；通过销-盘式摩擦磨损试验机研究了镀层的室温摩擦磨损性能，并使用光学显微镜观察了镀层磨损后的形貌；探讨了碳含量变化对镀层摩擦磨损性能的影响机理。　　 研究结果表明：CrCN镀层主要由CrN、Cr2N、碳单质和铬碳化合物组成。CrTiAlCN镀层主要由(Cr、Ti、Al)N体系、碳单质、铬碳化合物和少量的钛碳化合物组成。随着C元素相对含量的增加，CrCN镀层与CrTiAlCN镀层均逐步向非晶化转变；镀层的表面形貌更加致密，晶粒细化，镀层中的孔隙和缺陷减少，粗糙度下降，并且镀层由柱状结构逐渐向层状结构转变。镀层的摩擦系数随C元素相对含量的增加逐渐降低；磨损形式发生了由粘着磨损→磨粒磨损的转变。　　 随着C元素相对含量的增大，CrCN镀层硬度提高，摩擦系数由0.7降至0.32，磨损率由3.61(*)10-15m3/Nm下降至1.15(*)10-15m3/Nm。碳元素相对含量为50.47at％时，CrTiAlCN镀层的摩擦系数最低达到0.1，镀层磨损率较大，硬度逐渐下降，韧性变差。这是由于Cr，Ti，Al)N体系固溶度较高，C原子大部分以碳单质形式不均匀地富集于工作层中，界面数量减少，降低了镀层抵抗塑性变形的能力，脆性增大，在摩擦过程中镀层易于大面积剥落。