微机电系统(MEMS)是面向21世纪的高新科技,涉及到电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,MEMS在21世纪将成为最重要、最活跃的研究领域之一。而微加速度计是微机电系统的一个很重要的方向,它广泛应用到惯性导航和制导、生物医疗、农业、汽车工业、探矿测震、机器人、工业自动化、玩具等领域。本文设计了一种以MEMS技术为基础的电容式力平衡硅微加速度传感器,该传感器主要采用SOI和硅-玻璃键合技术制作,形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。该传感器能满足在大范围内加速度的变化测量。就此本文开展了以下主要研究工作:1、分析几种典型加速度传感器的原理,并比较其优缺点,结合现有实验条件及课题宽量程的特点,提出电容式力平衡硅微加速度传感器。2、对宽量程平衡式微加速度传感器的工作原理进行分析、研究,设计传感器的结构,建立了数学的模型,确定使系统稳定必须满足的条件,对系统安全必须满足的条件进行分析,根据提出的结构,从理论上对悬臂梁的参数进行模拟分析选出合适的参数,并用Matlab和Ansys进行仿真,验证所选参数的合理性,确定微加速度传感器的结构,并验证微加速度传感器具有宽的工作量程。3、研究硅单晶的晶向,对制作微加速度传感器的氧化、光刻、扩散、键合、腐蚀和等离子刻蚀等MEMS工艺进行了详细研究。提出微加速度传感器工艺的设计方案,画出工艺流程图、模版,并进行制作,对出现的问题进行分析和提出解决的方法。