光电薄膜材料凭借其优异的光电性能在日常生活中应用越来越广泛，作为新一代的光电薄膜材料--掺铝氧化锌(AZO)薄膜材料不但具备一般的光电薄膜材料所共有的优异的光电性能，更是一种无毒、且原料丰富的光电薄膜材料，因此关于它的研究及推广应用更加有价值。　　 本论文中主要研究AZO薄膜的前期粉体--纳米ZnO粉体。纳米ZnO粉体具有优异的力学、光电、化学、生物等方面的性能，其制备和性能研究备受重视，应用也越来越广泛。　　 本论文的主要工作及研究成果如下：　　 一、采用直接化学沉淀法制备纳米ZnO粉体，通过调节和控制浓度、煅烧温度、溶剂成分、溶质成分等工艺，制备出不同工艺条件下的纳米ZnO粉体。　　 一、采用XRD、SEM和TEM等测试手段，对制备出的纳米ZnO粉体进行了结构性能方面的研究，得到如下结论：纳米ZnO粉体为六方晶系，纤锌矿型晶体结构；在体积比60％以下，乙醇掺入到去离子水中做溶解Zn盐的溶剂时，能够抑制纳米ZnD粉体粒径的生长；前驱体煅烧的最优温度选择在300摄氏度；随着Zn盐浓度的依次增大，纳米ZnO粉体的粒径逐渐呈减小趋势；纳米ZnO粉末的形貌与采用不同的Zn盐有关。以Zn(NO3)2·6H2O做溶剂时，得到的纳米粉体呈圆饼状结构；以ZnCl2做溶剂时，呈类似六方体的长棒状结构；以ZnSO4·7H2O做溶剂时，呈较规则的长方形状结构。　　 三、采用微分热重技术、拉曼光谱和紫外吸收光谱等，对制备出的纳米ZnO粉体进行热学和光学性能的研究，得到如下结论：纳米ZnO粉体的前驱体Zn(OH)2的热重分析显示前驱体Zn(OH)2在175℃开始脱水，成为纳米ZnO粉体；纳米ZnO粉体的特征拉曼峰出现在437cm-1处，随着Zn盐浓度的升高，最强散射峰的峰位逐渐呈减小趋势，出现红移现象；纳米ZnO粉体有较强的紫外光吸收性能，随着Zn盐浓度的升高，吸收光谱发生了蓝移现象。