半导体制造投资巨大,尤其是设备成本极其昂贵,因此,如何提高设备利用率一直是企业关注的焦点。国际半导体设备与材料组织在其制度的SEMI标准中提供了一种很好的计算设备效率的方法,称为设备整体效率。设备整体效率是一个独立的测量工具,它用来表现实际的生产能力相对于理论产能的比率,它考虑了设备所有的运行情况,计算方便准确,弥补了传统计算效率方法的不足,得到了广泛的应用。但是从目前来看,获得设备整体效率中的某些参数不准确,且费时费力,所以本文主要针对这个情况设计了一个生产设备产能跟踪系统来解决这个问题。本文所研究的生产设备产能跟踪系统的主要功能是为工业工程部门计算设备整体效率提供重要参数,即设备每小时的理论产量。本文分析了工业工程部门在估算产能方面的职能,半导体的行业背景,半导体技术及发展趋势,半导体制造流程以及半导体相关的计算机集成制造系统。接下来,本文在分析生产设备产能跟踪系统主要功能的基础上,重点研究的是生产设备产能跟踪系统的架构、主要功能模块、采用的关键技术。最后,本文以具体设备为例分析了生产设备产能跟踪系统是如何通过数据采集、数据分析、数据导入、数据计算这四个模块得出设备的每小时理论产量,并说明其具体应用。生产设备产能跟踪系统的应用,为计算设备整体效率提供了有效数据,为监控全厂设备的使用情况提供了实时、全面的数据,并且大大减少了人为的数据收集、数据分析的工作量。企业因此可以轻松的找到影响生产效率的瓶颈,将关注点放于重点设备并进行改进和跟踪,达到提高生产效率的目的,同时使公司避免不必要的耗费。