表面等离子波作为光波与金属中自由电子互相作用而形成的一种激发态倏逝波，它可以突破衍射极限从而实现亚波长量级上的光路集成。通过金属表面结构尺度的调整，能对表面波的传播和自由传播的光波之间的作用进行控制。随着加工技术的完善，在未来纳米级光子器件，光电集成芯片将具有极大的应用潜力。本文主要在表面等离子波理论的基础上，对金属薄膜微结构的透射现象进行了理论研究和模拟计算。　　从表面等离子波的基本原理出发，对表面等离子波的传播特性，激发方式等进行研究。基于表面等离子波的一些特性，研究了表面具有周期性金属光栅围绕的金属薄膜单狭缝结构的透光性质。对光波透过金属微结构后出射光的远场强度分布，光波的出射角度的控制进行了细致的探索。　　利用金属反射光栅和金属透射光栅性质的分析，及表面波激发模式的研究，结合金属反射光栅和金属透射光栅的特性，提出了一种阶梯型透射光栅垂直耦合分波结构。这种结构是由金属‐介质‐金属组成的波导结构，上层的阶梯型金属透射光栅对光波的传播方向造成偏折，下层的金属反射光栅用来激发表面等离子波。基于不同波长的入射光产生的表面等离子波的传播方向不同，这种结构就可以将不同波长的光波导向不同的方向。