本文系统阐述了微波高温技术的研究现状、陶瓷微波烧结的基本原理、特点、和技术难点,并着重论述了烧结设备的核心组成部分——烧结谐振腔。详细介绍了Sialon陶瓷的组成、结构、性能、烧结方法以及在工业领域的应用;研究了Sialon陶瓷微波反应合成烧结;并从热力学和动力学观点分析了陶瓷材料的微波烧结机理。本研究利用Al粉、Si粉、Al₂O₃粉为原料,部分试样用Si₃N₄粉作为晶种和稀释剂,根据微波加热特点,调整原料的配比,配合自制的工业微波高温烧结炉,选择合适的微波工艺合成了不同Z值的β′-Sialon,研究了原料配比、保温结构中炉气中氧含量、烧结温度、保温时间、气氛和晶种等对产物性能的影响。结果表明:以Al粉、Si粉、Al₂O₃粉为原料,成功用微波反应合成、常压烧结出不同Z值的β′-Sialon,其烧结属液相烧结;实验发现,利用微波反应烧结β′-Sialon,原料配比和保温结构的设计很关键;气氛和晶种对试样的体积密度和晶粒的尺寸有一定的影响;本研究在自行设计的烧结腔体中利用微波反应合成Sialon的温度在1400～1650℃,保温时间在30～120min,均能得到Sialon相含量很高的试样,分析表明微波烧结能明显地使晶粒细化,致密化速率加快,能获得较高密度的试样;微波烧结Z值等于3的β′-Sialon在烧结温度1500℃、保温90min下烧结的材料密度为3.050g/cm³,室温抗弯强度为150MPa。工业化条件下烧制的样品,测得的室温抗弯强度偏低。而利用微波反应合成β′-Sialon,相比传统工艺具有降低烧结温度、缩短保温时间、节能省时等优势。为工业生产Sialon提供一种高效、节能、经济效益好的方法。