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超声电机是20世纪80年代才开始发展起来的一种电机。它是利用压电陶瓷的逆压电效应,使弹性体在超声频段内产生一定振动,通过定子和转子之间的摩擦获得运动及转矩。对超声电机微步距的研究将促进微纳旋转驱动/定位技术的发展及其在微纳制造领域的应用,具有十分重要的科学意义和工程应用价值。本文搭建了嵌入式超声电机微步距控制检测系统,进行了基本的理论和实验研究,并设计了基于PID的超声电机精密微步距控制算法,取得了良好的步进效果。全文主要工作内容和研究成果如下:1.总结了超声电机的发展、特点,以及超