本文对金属纳米阵列材料的制备及其在表面增强拉曼散射中的应用进行了探讨。纳米材料与传统材料相比,具有奇异的力、热、电、光、磁性能。纳米阵列材料可以充分发挥纳米材料的集合效应。表面增强拉曼散射(SERS)被广泛应用于物理、化学、材料、生物、医学、环境、考古等学科中。制备灵敏度高、重复性好、成本低廉的大面积SERS基底是SERS研究中的一个重要课题,是SERS应用的基础。阳极氧化铝(AAO)可以用作制备有序纳米阵列材料的模板。通过控制阳极氧化条件和后续处理,制备了超薄AAO膜。以此为模板制备的有序Ag纳米阵列具有良好的SERS效果。制备Ag和Au复合纳米颗粒阵列,实验和时域有限差分(FDTD)模拟证实Ag和Au的含量与双金属复合的协同效应对SERS有重要作用。利用退火和二次蒸镀方法制备的无序纳米阵列材料具有良好的SERS效果。此纳米阵列无序排布,几乎各项同性,SERS增强因子达到109,信号相对误差低至12％。用FDTD模拟局域电磁场结果与SERS增强结果吻合。