声表面波器件具有体积小、频率高、可靠性好的特点,声表面波器件的应用十分广泛。声表面波器件可以应用于传感器、微流体等多个领域。声表面波传感器具有无线无源、抗干扰性强、灵敏度高的特点,种类繁多,是传感器技术中一个强大的分支。声表面波技术还可以应用于微流体领域,实现驱动、混合、微粒集聚、加热、雾化功能,是微流体技术中一个有潜力的分支。研究声表面波技术具有深远的意义。玻璃衬底具有透明性好、成本低廉和易于加工的优点。ZnO薄膜透明、无毒且具有良好的压电性。本文研究了基于Zn0薄膜的玻璃衬底上的声表面波器件。重点研究了声表面波器件的紫外、温频特性以及在微流体器件中的若干应用,还使用COMSOL软件对器件进行了仿真。COMSOL仿真得到了与实际实验相符的结果。紫外测试的结果显示该器件对紫外光的反应时间仅1.6秒,其紫外探测的灵敏度高达36.4ppm/(mW/cm2)。温频特性测试的结果显示该器件的温度系数仅为-9.8ppm/K。微流体测试的结果显示该声表面波器件性能良好。