【摘 要】
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本文主要研究了定向沉积技术制备NdFeB/X/Ti薄膜的制备工艺、表面形态,以及磁性能。为获得良好磁性能的NdFeB/X/Ti薄膜,采用了定向沉积技术,使薄膜表面形成定向的柱状晶,并分
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本文主要研究了定向沉积技术制备NdFeB/X/Ti薄膜的制备工艺、表面形态,以及磁性能。为获得良好磁性能的NdFeB/X/Ti薄膜,采用了定向沉积技术,使薄膜表面形成定向的柱状晶,并分析了其中的机理。文中采用了直流、射频磁控技术制备了NdFeB/X/Ti薄膜,利用原子力显微镜、X射线衍射仪、振动样品磁强仪、电子扫描显微镜等对薄膜的性能进行测试。结果表明:由于定向沉积技术在溅射过程中对薄膜用适当方式加热,使溅射中的薄膜温度从400℃升到500℃,所制备的NdFeB/Ti薄膜是晶态的;定向沉积技术制备出的NdFeB/Ti薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面:定向的柱状晶NdFeB/Ti薄膜具有良好的磁各向异性。 合适的定向沉积工艺制备的NdFeB/Ti薄膜经过不同温度热处理后,又利用原子力显微镜、X射线衍射仪、振动样品磁强仪等对薄膜的性能进行测试。结果表明:定向沉积技术制备的NdFeB/Ti薄膜的表面形态随热处理温度的变化而变化,当热处理温度低于500℃,薄膜晶粒随热处理温度的增加而细化,当热处理温度高于500℃,薄膜晶粒随热处理温度的增加而粗化;定向沉积技术制备的NdFeB/Ti薄膜,在热处理温度为500℃时,薄膜的磁学性能相对最佳;热处理对定向沉积法制备的NdFeB/Ti薄膜的矫顽力无明显改善作用,定向沉积法制备的薄膜的矫顽力已相对较理想;定向沉积技术制备（NdFeB/Co）6/Ti薄膜磁性能并无明显提高;定向沉积技术是实用的、有效的制备磁性薄膜的方法之一,它的独特优点就是,薄膜不经过后热处理,在溅射过程中加热,也能得到良好的磁学性能。
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