伴随着科学技术的发展,光学元件表面质量的检测也愈加重要,自动化程度也越来越高,光学自动检测结合机器视觉系统已经是检测行业的发展方向。图像处理算法在其中处于核心地位,本文针对基于暗场成像采集的光学元件表面图像进行了如下处理:针对线阵扫描检测系统采集图像中存在的震动现象,提出了图像震动的校正算法。通过对图像震动结果产生的原因和震动图像本身的分析,提出了采用模板匹配一种校正算法。利用光学元件本身边界创建模板,根据采集图像对图像中心进行拟合,将采集图像拟合中心与标准模板中心匹配,通过像素间的平移和插值实现震动现象的消除,并对拟合方法进行了验证。针对图像中缺陷位置信息的查找与存储,文中结合地理信息系统中的空间索引结构进行了分析,利用空间索引的四叉树结构模型对暗场成像图像实现分层分割。对四叉树压缩方法进行了介绍和原理分析,文中对传统四叉树结构模型进行了改进,将图像中存在的空间位置信息存储在四叉树结点信息中,并实现四叉树模型的创建。根据建立的四叉树模型和结点中存储的图像信息,对整幅图像实现混合压缩编码。即对整幅图像的行程编码和四叉树结点中信息确定图像的哈夫曼编码。利用对混合编码的解码实现对图像的复原重建,利用峰值信噪比的方法实现复原图像的评价。