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同步辐射光源在众多科学领域中起到重要作用。单色器是其内部核心装置,将复色光分离成实验所需的单色光。在软X射线光束线中,变包含角单色器因为具有宽光谱、高分辨的等优点被广泛应用。但是随着同步辐射光源应用的不断发展,需要更高光谱分辨率的单色光来完成更高水平的相关实验。因此提高变包含角平面光栅单色器能量分辨率,是同步辐射光源有效的应用重要保障。本文围绕上海光源软X射线谱学显微光束线站变包含角平面光栅单色器,以提高单色器分辨率为目的,对影响该类型单色器分辨率的主要因素进行了研究,并通过对影响因素的控制,提高单色器的分辨率。主要研究内容如下:1.聚焦常数是变包含角平面光栅单色器重要的特征参数,是连接光栅成像和衍射的条件因子,其取值的变化直接决定分辨率的大小。通过理论推导,得出聚焦常数与能量分辨率的变化关系式,通过关系式选择聚焦常数,达到单色器分辨率的精确控制。2.由于第三代同步辐射光源亮度的大幅提高,光学元件表面需承受更大热负载,造成表面热变形,导致单色器的分辨率下降。利用有限元分析软件对光学元件做热-结构耦合分析,计算得到元件表面的热变形量,求出单色器分辨率的下降值。并提出优化聚焦常数提高分辨率的方法,最后用光线追迹软件对狭缝处光斑追迹,对方法进行评价。3.单色器内部光学元件表面会产生碳污染,使其不能正常工作。需要更换损坏的光学元件,而光学元件空间位置能否精确复位,在很大程度上决定着单色器分辨率的高低,因此提出了适用单色器内部光学元件安装空间位置恢复的检测方法,保证单色器的分辨率不受影响。本文研究内容为提高变包含角平面光栅单色器分辨率和单色器光学元件更换复位检测技术提供了理论依据。