太赫兹自由电子激光(THz-FEL)因其光波段位于红外波段和微波波段之间而具有一些独特的性质。基于太赫兹辐射成像技术,在军事通讯、安全检查等前沿领域,THz-FEL能够得到充分的利用和发展。世界各地的学者都十分关注对THz-FEL的研究,在国家科技部等支持下,华中科技大学建造了一台能量为14MeV紧凑型THz-FEL源直线加速器。本文所做工作正是为了给这台加速器的稳定运行提供必要的监控手段,这其中包括束斑横向截面尺寸的测量、束流横向发射度的测量以及束流能散的测量。这些参数描述了束流的特性和行为,最终决定了出射自由电子激光性能是否能达到要求,是衡量一台加速器束流品质的重要参数。束斑横向截面尺寸的测量是测量其他横向参数的基础,本文为该加速器搭建了一套束斑检测系统。所测量的束斑横向截面尺寸经后续数据处理可得到束流的发射度以及能散。束斑检测系统由两个部分组成,分别为步进电机控制系统和束斑采集处理系统。基于对步进电机的运动控制,步进电机控制系统能够实现把束测元件移动到合适的位置,为束斑的图像采集提供条件；束斑采集处理系统则是利用CCD相机对束斑图像进行采集,然后把采集到的图像传输给主控计算机,经过计算机中的数据处理程序处理后,得到束斑的横向截面尺寸。步进电机的控制程序和图像的数据处理程序都是使用LabVIEW编写,对此本文也详细介绍了LabVIEW的相关知识。本文对束斑的空问分布曲线进行高斯曲线拟合得到其曲线的标准差,即为束斑对应的横向截面尺寸。同时本课题采用四极铁强度扫描法来测量束流的发射度,以及采用一套能谱分析系统进行能散测量。综上所述,在介绍相关理论背景的基础上,本文尝试为紧凑型THz-FEL源直线加速器搭建的了束斑测量系统平台,用于束流横向参数等参数的测量。经过分析,这个束斑测量系统平台达到该加速器的调试要求,并可用于以后的运行。