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伴随着科学技术的发展,很多仪器设备都向着小型化、集成化的方向发展,并且性能更加优秀。光学仪器也是同样,人们的研究对象不再是传统的透镜、棱镜、光栅等,而是新兴的集成光学系统。集成光学系统具有更快的响应速度、可靠性更好、性价比高以及小型化等优点。微透镜阵列是集成光学的基础部件,是微小精密器件,它把大量的微小透镜有规律的集成到一个较大的透镜基片上,因此直接面对的一个问题就是如何能快速、有效地对基片厚度进行是否合格的测量工作。这里就准备设计一套光电测量系统。本文首先简单介绍了有关微透镜的