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聚合物具有材料价格低廉,机械性能、透光性以及生物兼容性好,易于成型等优点,近年来已被广泛用于制作各种微纳米器件。通过在聚合物表面沉积金属和图形化,可以在聚合物微纳米器件上集成各种金属功能单元,从而提高器件的集成度,扩展器件的应用领域。然而,由于聚合物表面非极性、表面能低,使得沉积在聚合物表面上的金属薄膜与聚合物基片之间结合力差,严重限制了金属功能单元在聚合物微纳米器件上的应用。为此,本文首次提出了一种紫外-臭氧改性提高金属薄膜与聚合物基片结合强度的新方法。在沉积金属薄膜之前,利用一台紫外-臭氧清洗设