小型磁阻式直线时栅位移传感器研究

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工业正在进入全球化时代,传统制造技术逐渐向自动化和智能化方向转变,位移传感器作为全闭环控制系统中位置反馈的关键器件,决定了系统的整体性能。电磁感应式直线位移传感器具有精度高、抗干扰能力强、稳定性好等优点,被广泛应用于工业领域,目前正朝着高精度、小型化的方向发展。诸如感应同步器、旋转变压器等传统电磁感应式位移传感器因其体积大、重量大等问题制约着其应用领域,难以在小型化设备中推广,无法满足当下小型化精密测量的要求。因此为了满足精密位移测量的传感器小型化要求,本文在时栅原创核心技术的基础上,开展了一种小型磁阻式直线时栅位移传感器的研究,本文主要研究内容和工作成果如下:(1)阐述了以时空转换为核心的时栅测量原理,并分析了磁阻元件的感应原理。基于时栅的测量原理,结合磁阻元件的感应原理,建立了小型磁阻式直线时栅位移传感器的测量理论模型。(2)通过对相关的磁阻材料参数进行对比分析,确定了传感器中的关键元件,并对设计的永磁体外部磁场规律进行了分析仿真。同时针对影响传感器输出信号的因素进行仿真对比分析,确定最优的结构参数,最后根据最优参数完成传感器整体结构的设计。(3)通过对激励信号幅值不等、空间相位不正交等因素引入的主要测量误差特性进行研究,并通过理论推导,得到一种空间平移7/6极距的多磁阻元件优化模型。(4)对传感器安装时的机械结构进行设计,并设计了一套电气系统。硬件设计了机械机械结构、差分信号处理电路、行波预处理电路、激励电路和FPGA最小系统;软件设计了激励电路驱动程序、信号处理程序和上位机界面软件。搭建了实验平台并进行了实验验证,实验结果表明:相较于不平移,当磁阻元件空间平移7/6极距大小时,传感器稳定性较好;在整量程48mm范围内,误差修正后的测量误差为-38μm~53μm。本文研制的传感器具有小型化、成本低等优点,可应用于机械臂内部小型精密定位装置中,具有重要的工程应用价值。
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