【摘 要】
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光电阵列真空微电子显示屏是一种新型的真空微电子平面显示器件,它主要由三部分组成:1、光电子源系统,该系统包括均匀的光电子发射源和微通道板.2、像素扫描提取板,该板由Y、
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光电阵列真空微电子显示屏是一种新型的真空微电子平面显示器件,它主要由三部分组成:1、光电子源系统,该系统包括均匀的光电子发射源和微通道板.2、像素扫描提取板,该板由Y、Y两方向整齐排列的小孔组成,X方向的电极为扫描电极,Y方向的电极为信号电极.3、荧光显示屏:该屏由低阈值、高亮度的荧光粉涂复而成.由于该真空微电子器件没有电荷存储的部件,而单束信号电流又是比较小的,不使用内部放大则很难形成有效的信号,这就需要使用微通道板(MCP).微通道板(MCP)是无数平行通道电子倍增器集合而成的二维阵列式器件,目前普遍使用的还原铅硅酸盐玻璃微通道板(RLSG-MCP)的制造技术成熟,但其制造工艺固有的因素使它的面积尺寸受以限制,不能满足光电阵列真空微电子显示屏的要求,为此需要研究人员从材料结构和制造技术上进行革新,研制新型的微通道板(MCP).该论文在讲述了普通微通道板的工作原理、结构、性能和发展情况的基础上,详细的介绍了这种新型微通道板的结构、制造方法及测试结果.经过实验证明,新型的微通道板有良好的性能,具有美好的应用前景.
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