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随着无线通信技术的迅猛发展，便携式产品得到了广泛应用，小型化、超薄化是这些设备的主要特点。与传统的驻极体电容式麦克风ECM相比，MEMS硅微麦克风具有可以精确控制器件的结构尺寸，体积小、成本低、工艺重复性好及容易实现批量生产等优点，所以更能满足现代电子设备的上述设计要求。本文是在清华大学微电子所研制的MEMS硅微麦克风的基础上，为其设计相应的偏置电路和前置放大器。从而构成一个声音信号到电信号的转变的系统。偏置电路即由振荡器、D触发器、电荷泵电路和误差放大器组成的电荷泵系统，在电源电压为3．3V的情况下，电荷泵系统能够输出满足MEMS电容正常工作所必须的约11V的相对高电压。这样，MEMS硅微麦克风在声压的作用下，就能产生纳安级电流信号。由于信号十分微弱，且信噪比又比较低。不能直接驱动后极的功率放大器。必须经由低噪声前置放大器处理后才能输入到功率放大器进行功率放大。根据具体情况，本文设计了共栅级前置放大器，构成了直接从电流到电压转换的跨阻放大器。经过仿真验证，得出前置放大器的闭环增益约为20dB，输入噪声级为10-11A／（?）。满足低噪声的要求。在完成电路原理分析与电路设计的基础之上，本文采用上海先进的ASMC 0．35μmBI-CMOS工艺库参数，应用Cadence的spectre仿真器对子模块和整体电路进行了功能特性及关键参数仿真。仿真结果表明设计达到了预定要求，验证了理论分析的正确性和设计的可行性。采用Cadence系统软件提供的Virtuoso Layout软件进行了版图的设计工作，并且使用Dracula工具从单元电路到系统进行DRC，LVS验证，为下一步的流片工作做好了准备。