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近年来,薄膜结构因其具有较小的特征尺寸和在光、电、磁、热和力学等方面表现出的独特性质而受到了广泛的关注,也在传感器、致动器、谐振器等众多关键基础零部件的设计中获得越来越多的应用。同时,不同场合的薄膜结构的应用也对薄膜微结构的加工技术提出了更高的需求。本文针对紫外纳秒脉冲激光在薄膜结构加工中的相关技术进行了研究。论文完成的主要工作有:(1)对激光与被加工材料之间的相互作用机理进行了分析,研究了材料对激光的反射与吸收的过程,使用双温模型分析了激光脉冲在材料内部的热传导过程,依据激光能量的高斯分布模型定量