掺杂氧化锌薄膜制备及光学性质研究

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【摘要】

：

氧化锌(ZnO)是一种多功能宽带隙氧化物半导体材料，激子结合能为60meV，具有六方纤锌矿结构。它具有良好的透明导电性，非常适合用于制作短波长发光器件。还具有压电、光电、气敏、压敏特性，且易于与多种半导体材料实现集成化，因此在许多方面具有实用价值。本论文主要工作是ZnO薄膜和Mn、Co掺杂ZnO薄膜制备和光学性质研究。采用溶胶-凝胶法制备高纯的靶材，利用PLD法生长薄膜，成功地在Si和Si

【作者】

：

温晓莉

【机构】

：

西北工业大学

【发表日期】

：

2007年03期

【关键词】

：

溶胶-凝胶 PLD ZnO薄膜光致发光透过率

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