半导体企业是高科技企业不可或缺的基础,在各种顶尖科技领域中被广泛应用,过去的几十年我国的半导体企业得到了长足的发展,近年来,随着下游消费需求的增多,我国的半导体消费量也日益增多,国内需求的不断增长使得我国半导体的自给自足率始终处在比较低的水平,所以我国政府将其列入“中国制造2025”计划,希望企业可以掌握半导体产业链的主要环节技术,提高国产替代率,掌握核心技术,避免因“卡脖子”技术受制于人,政府希望能减轻半导体企业的研发税收负担,近年来出台了许多关于半导体企业减税降费的相关政策,减轻半导体企业的税收负担,提升半导体企业的研发效率和产品的质量,但是这些税收优惠能否真正对企业的研发投入有显著激励的作用,激励作用是否存在异质性是本文研究的主要问题。本文的写作思路如下。首先,确定研究的主题内容和研究方法,阅读国内外文献,归纳研究现状,确定研究内容,国内外文献研究税收优惠对创新效应的激励很多,但对于半导体企业的相关研究较少;其次对现有的研究理论基础进行研究,奠定论文的理论基础;接着梳理我国目前半导体企业现状和近年来享受的税收优惠政策,分析企业发展存在的问题以及可能导致问题的原因;实证部分选择37家上市公司2012-2020的数据构建固定效应模型,探究税收优惠对于半导体企业研发投入的影响,再从股权性质的层面上分析国有和非国有企业激励效果差异和从规模层面上分析大型和中小型企业的激励效果差异,最后通过实证结果提出建议。通过上述模型构建以及结论的分析可以得出如下结论:第一,税收优惠强度对半导体企业的研发投入有显著的正向激励效应。第二,税收优惠对非国有企业和国有企业的激励效应有差异,对国有企业的激励效应更明显。第三,税收优惠对大中型企业的激励效应有差异,对中小型企业的激励效应更明显。第四,税收优惠对半导体企业研发投入的激励效应有滞后性。结合我国目前半导体企业的自身发展特点和存在的不足,提出针对性的建议:第一,提高国有企业创新效率,增加非国有企业税收优惠;第二,重视大型企业研发活动,完善中小企业税收优惠政策。第三,加大核心技术税收优惠力度,鼓励企业攻克技术难题;第四,持续实施税收优惠政策,健全税收优惠政策体系。