【摘 要】
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自激光器诞生以来,设计和构建波长可调谐激光器是其中最为重要的研究任务之一,也是拓展激光器应用范围的有效途径。目前,大部分调谐波长的方法主要是通过能带工程和腔体设计来实现。但无论是调整材料的能带结构,还是对腔体进行复杂的微纳加工,都相应的受到工艺复杂、成本高昂、难以动态调控等问题的局限。本文选择氧化锌这种直接带隙宽禁带(3.37e V)半导体材料进行研究。氧化锌具有超高的激子束缚能(60me V),
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自激光器诞生以来,设计和构建波长可调谐激光器是其中最为重要的研究任务之一,也是拓展激光器应用范围的有效途径。目前,大部分调谐波长的方法主要是通过能带工程和腔体设计来实现。但无论是调整材料的能带结构,还是对腔体进行复杂的微纳加工,都相应的受到工艺复杂、成本高昂、难以动态调控等问题的局限。本文选择氧化锌这种直接带隙宽禁带(3.37e V)半导体材料进行研究。氧化锌具有超高的激子束缚能(60me V),极易获得丰富多样的微纳结构,对于紫外激光器件的研究和应用是重要候选材料。利用氧化锌非中心对称结构导致的显著压电性能这一优势,本文详细讨论了压电极化效应动态调控氧化锌激光器谐振波长的方法及内在机理。本文主要通过高温化学气相沉积法制备了氧化锌微米带、微米棒两种形貌的高质量光学微腔,它们均表现出几何形貌规则、表面平整光滑的性质。对其激光性能测试的结果表明,被测氧化锌微米带的激光阈值为2.6m W,腔体品质因子为6400;氧化锌微米棒的激光阈值为7.1m W,腔体品质因子为11200。通过构建单轴施加应变系统,本文详细研究了不同应变下氧化锌激光器谐振波长移动的现象,在拉伸应变下,氧化锌微米带谐振波长蓝移,微米棒红移;在压缩应变下,微米带谐振波长红移,微米棒蓝移。进一步分析可知,波长移动是腔体变化与有效折射率变化共同作用的结果,其中有效折射率变化受压电极化效应的影响明显。当拉伸应变作用在氧化锌材料[0001]晶向上时,有效折射率将会增大进而导致波长红移,压缩应变的情况则相反。
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