移相干涉术(PSI)是一种高精度、高灵敏度、非接触式光学测试方法，易受环境振动的影响，环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一。论文介绍了移相干涉仪抗振技术的研究进展及存在问题：提出运用声光调制器作为光学移频器在移相干涉仪中嵌入外差测振系统，由两只高速光电雪崩管(APD)进行外差探测，采用新型单片RF／IF集成芯片对两路40MHz的高频模拟外差信号直接进行比相，实现了干涉仪所受环境振动的测量；在获得振动信息的同时，根据波前相位偏离预设值的大小，采用自适应处理的方法对振动信息进行实时分析和预测，得到振动反馈补偿信号并输出至PZT移相器，将波前相位锁定在预设值上，得到了稳定的条纹干涉图，实现了干涉仪的自适应抗振；运用DSP技术实现了自适应LMS算法，并创新地提出象限区分反馈法对LMS算法进行象限符号修正，在抗振的同时改变波前相位预设值实现了干涉仪的移相测量功能。成功研制了用于自适应抗振的高频响预压式PZT移相器，并对其性能进行了分析和测试，首次对PZT移相器动作过程中出现的类进动现象进行了探索性研究。论文给出了振动环境中移相干涉仪抗振和波面测量的实验结果，数据分析表明，这种采用自适应抗振技术的移相干涉仪能够对幅频积不大于100 waves·Hz的环境振动进行有效控制，并且不影响移相干涉测量的精度。