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超光滑表面抛光技术是晶体材料获得纳米级粗糙度表面的主要手段,而影响抛光精度的主要因素是微射流抛光液的温度、压力、流速。本系统在保证晶体材料抛光质量可靠性的前提下,开发了基于PLC控制的具有人机交互界面的微射流悬浮喷液供给系统。研究内容包括系统的结构设计、硬件电路设计、PLC软件程序设计,设计了一种对抛光液恒温、恒压、恒流供给的仪器。新研制微射流供给系统作用于五轴加工中心,实现了晶体材料高效率、超光滑表面加工。本文作者根据微射流悬浮喷液供给系统的设计要求,主要针对以下几个方面进行了研究:1.温度控制方