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扫描探针显微镜(SPM)当前的发展趋势是功能复合化和数字化。原子力与光子隧道扫描组合显微镜(AF／PSTM)就是一种兼有原子力显微镜(AFM)和光子扫描隧道显微镜(PSTM)功能的新型SPM，它用弯光纤尖作探针，采用AFM的轻敲工作模式(tapping mode)，可以同时得到样品的形貌和透过率、折射率图像。 本文简要概述了原子力显微镜和光子扫描隧道显微镜各自的基本原理和系统结构。并简述了分解PSTM光学信号的方法。阐述了AF／PSTM的基本原理，详细介绍了AF／PSTM系统的主-从式结构，和它的控制软件的实现。本文还叙述了数字信号处理器(DSP)在AF／PSTM中的实时控制应用，并探讨了采用DSP实现PSTM光信号实时分离的方案。