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以无摩擦无间隙、响应快、结构紧凑、误差积累小等优点而得到重视和应用的全柔性微动并联机构因为采用了全柔性关节代替了传统的运动副,其设计和分析方法与宏动并联机构存在一定的区别。本文从微动并联机构结构设计和性能分析的角度,在柔性运动副的柔度计算、整体机构的运动学与静力学性能分析、误差分析与结构参数优化等方面对一种新型二维平动并联微定位平台进行了较为细致和深入的研究。具体内容如下：第一,分析了微定位平台的机构自由度与运动输出特性,利用伪刚体模型法和微分运动系统分析法的简化方法建立了机构的位置、速