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本论文在分析目前国内外三坐标测量机测量误差补偿技术研究的现状和发展趋势的基础上，通过对坐标测量机构件的受力变形建模分析，详细研究了测量机非刚性效应运动误差，为高精度坐标测量机误差补偿技术奠定理论基础。 针对现有误差补偿过程中精度较低等问题，提出了一种改进的遗传神经网络算法建立三坐标测量机非刚性误差模型，这种算法克服了现有BP算法神经网络建模存在的局部极小点、网络隐单元数选择等问题。 同时，以国产ZOO型三坐标测量机为例，进行非刚性运动误