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该论文中发展了化学气相沉积法这一传统的制备固体材料的方法,将其用于合成金属氮化物纳米材料.通过控制反应温度,反应时间等条件,可以得到系列尺寸的纳米晶氮化物.采用氯化物及其他盐类为前驱物,合成了氮化铬和其他一些金属氮化物的纳米晶,同时得到了一些新的相.
化学气相法制备氮化物材料
【摘 要】
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该论文中发展了化学气相沉积法这一传统的制备固体材料的方法,将其用于合成金属氮化物纳米材料.通过控制反应温度,反应时间等条件,可以得到系列尺寸的纳米晶氮化物.采用氯化
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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中国科学技术大学
【发表日期】
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2002年期
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