磁控溅射制备（Ti，Al）N基超硬质薄膜及其性能的研究

被引量 : 11次 | 上传用户：jizhe621

【摘要】

：

本论文首先综合描述TiAlN薄膜及TiAlN基硬质薄膜的发展历程,TiAlN薄膜及TiAlN基硬质薄膜的结构特征、性能及其应用。简单介绍了物理气相沉积(PVD)方法和磁控溅射基本原理。在此基础上用反应磁控共溅射的方法通过改变Cr靶溅射功率在单晶硅(111)和不锈钢基体上沉积不同Cr含量,不同组织结构、不同性能、不同表面形貌的TiAlCrN薄膜。采用X射线衍射(XRD)研究薄膜的组织结构;采用扫描电

【作者】

：

程立军

【机构】

：

河北工业大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

反应磁控共溅射 TiAlCrN薄膜组织结构表面形貌硬度临界载荷抗腐蚀性

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

290 A MeV 12C诱发C靶核反应碎裂研究

本文利用CR-39塑料蚀刻径迹探测器对最高能量290 A MeV12C诱发C靶核反应进行了实验研究。束流到达四个靶上的能量分别为280 A MeV、267 A MeV、254 A MeV和241 AMeV。通过统

学位

C靶核反应射弹碎裂电荷变化射弹碎片束流粒子

6Li32S分子势能函数、光谱常数及辐射研究

多参考组态相互作用法是一种比较充分考虑了电子相关效应的高精度量子化学电子总能量计算方法，能够较好的预测小分子体系的能谱。LiS是一个简单的硫化物双原子分子，对该分子势

学位

量子化学硫化锂分子势能函数光谱常数电子状态

基于磷化镓衬底的氧化镓纳米线膜制备与性能研究

本文利用两步化学刻蚀的方法,制备出纳米尺度多孔磷化镓,并解释了其形成机理。基于多孔磷化镓,通过化学气相沉积的手段,依靠自组装性能,大面积合成了β-Ga2O3纳米线结构。这

学位

β-Ga2O3多孔衬底纳米线膜超疏水性光诱导湿转换电化学刻蚀

高分子聚合物中的电子链间跃迁研究

有机共轭聚合物作为一种新型的功能材料，既具有金属和半导体的电子性质，又具有聚合物的易加工、有柔性的机械特点，成为近年来的研究热点。目前，人们已经研制出各种各样的有机光电

学位

转移型激子高分子聚合物功能材料电子性质电荷输运电子链跃迁

低维磁性体系的结构与磁性研究

近年以来,薄膜磁学和自旋电子学迅速发展并逐渐走向应用。其中最关键和需要解决的问题就是如何制备出所需的磁性纳米微结构并对其进行表征,以及如何对磁性结构的性质进行调控

学位

低维磁性体系结构磁性原子链反铁磁相晶格梯度

掺杂C60的向列相液晶中空间光孤子的研究

向列相液晶由于其优良的非线性的特性，被广泛应用于非线性光学研究。向列相液晶在电磁场的作用下会发生重取向效应，这是一种非线性效应，能够导致液晶折射率的改变，从而引起非线性

学位

向列相液晶光束衍射空间孤子晶体光学

不均匀场中氢分子离子高次谐波的理论研究

强激光场作用到原子或分子上会产生一系列非线性现象，其中高次谐波作为产生孤立阿秒脉冲的手段，受到了国内外研究者的关注。本论文采用求解含时薛定谔方程的方法，对氢分子离子在

学位

氢分子离子不均匀场高次谐波产生过程阿秒脉冲

脉冲激光在镀层圆柱中激发的声场及镀层材料表征研究

对激光激发的平面和圆柱镀层系统的声场采用Fourier变换技术进行理论求解，得到声场的积分表达式；通过留数理论进一步得到表面波声场；然后利用数值方法计算表面波频散特性和脉冲

学位

磁控溅射制备（Ti，Al）N基超硬质薄膜及其性能的研究

其他学术论文