测量是人类认识自然和改造自然的重要手段之一。现代工业中，从零件的加工到机械的装配、调整，都离不开高精度的测量，否则无法保证产品的质量，因此，精密测量技术具有重要的现实意义。该技术在纳米测量、生物工程、材料科学、微电子以及超精加工等领域有广泛的应用前景，对我国国防工业和国民经济的发展具有重要意义。本文研究内容和主要工作如下：1、根据跟踪仪的工作要求，分析介绍了一种增量式干涉测量原理和一种绝对式干涉测量原理，并给出了两测量方法在跟踪仪的断光过程中的续接切换控制方法，对于提高跟踪仪的续接精度有重要意义。2、文中介绍了一种半导体激光器稳频技术（Pound Drever Hall），并进行了相关设计参数的仿真，仿真实验证明该方法有较好的频率误差输出，对于半导体激光器稳频的设计有很大参考价值。3、分析研究了干涉产生的原理和现象，介绍了一种迈克尔逊干涉仪的构成光路，并利用干涉信号的特点，采用了一种利用共轭抑制的方法，对干扰噪声进行有效抑制，提高信号测量的精度。4、为提高干涉信号的信噪比，满足跟踪仪的目标移动速度，文中设计采用了一种高干扰抑制能力、宽带宽的仪器仪表专用的三运放结构的集成放大电路MAX4445，实验表明，系统可在目标以4m/s的速度移动时，测量精度达微米量级，完全满足跟踪仪的设计要求。5、提出了一种基于二次细分的阈值干涉信号的细分方法，通过设定阈值增设盲区，可以实现对存在正交信号和幅值误差的信号的准确细分。通过动态区间分配法来消除起始区间误差，实现精确细分。此法可使计数不受信号直流电平漂移和高频扰动的影响。采用该技术细分法，可以使干涉精密距离测量系统具有更强的环境适应性和抗干扰能力，更适用于工程现场应用。