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工程材料的表面在工程材料的功能性和耐久性等方面具有重要的作用。工程实践表明,工程材料表面的机械与物理性能(摩擦力、弹性模量和硬度等)不仅取决于其微观特性,而且依赖于宏观特性。大范围、多功能的表面测量与表征对获得工程材料表面的机械与物理性能、对工程材料表面进行改性处理以获得特定功能具有重要的意义。但是,现有显微测量仪器存在测量范围较小、测量模式单一等缺点,无法满足现代微/纳工程表面测量与表征的要求。本文研制了一台新型多功能微/纳表面测量与表征系统,用于微/纳工程表面形貌、机械与物理性能(摩擦力、弹性模