能量色散X射线荧光分析技术是现代分析方法中的一种重要手段,广泛应用于钢铁、建筑材料、电子/磁性材料、化学工业、石油煤炭、农业、环境样品等领域。谱线数据分析技术是一种提高X射线荧光分析的精度、更深挖掘谱线信息的一种数学处理方法,它弥补了由于探测器能量分辨率不足造成的测量误差。论文详细讨论了最小二乘法原理,包括线性最小二乘法拟合、正交多项式的最小二乘法拟合和一般的非线性最小二乘法拟合,尤其是L-M算法。在X射线荧光分析软件里,首先采用Savitsky和Golay多项式滤波器对谱线进行光滑,然后采用峰剥离或正交多项式最小二乘法拟合的方法扣除本底。能量刻度后,采用top-hat滤波器进行寻峰。通过VC编程,利用一般的非线性最小二乘法拟合对谱线数据进行高斯峰拟合。对拟合数据通过画图和列表方式,比较分析拟合效果和误差。将该软件应用于具体测试,由分析结果得出,函数拟合的平均方差为40.07,提高了X射线荧光测量的精度,扩大了X荧光分析技术的应用范围。