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本文采用有限元分析法，推导了TE<,103>单模微波谐振腔有限元数值模拟的数学模型，运用基于有限元法的ANSYS软件进行数值模拟，分析和讨论了微波加热块状或柱状介质时谐振腔和介质内电磁场分布规律：空腔有三个大小相近的电场均匀区域，加载块状或柱状介质后，由于介质的吸波特性，三个电场均匀区域都有不同程度的缩小，两边的区域明显缩小，中间区域缩小相对不明显，这样就形成了中间电场均匀区域大，两边小的电场分布情况。介质的电场分布为从里到外逐渐增强。介质的电场分布不均匀，会造成微波加热的不均匀，这就很好地解释了微波加热电介质时容易出现样品开裂的现象。
利用微波敏感材料对TE<,103>单模微波谐振腔内的电场分布进行了定性测量，并将实测结果和有限元计算结果进行了比较和分析，数值模拟结果与实验结果吻合很好，确定了本研究的合理性与可靠性。