【摘 要】
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在该文中,研究人员采用了脉冲放电的方法,测量了氮气、氨气、甲烷及他们的混合气体的脉冲放电光谱.分析了放电等离子体的成分及其与气压和气体配比之间的关系.根据光谱分析,
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在该文中,研究人员采用了脉冲放电的方法,测量了氮气、氨气、甲烷及他们的混合气体的脉冲放电光谱.分析了放电等离子体的成分及其与气压和气体配比之间的关系.根据光谱分析,发现在氮气中掺入氨气或甲烷有利于氮气的解离.该文利用光谱方法分析了在相同气压下,氮氨混合气体放电等离子体中的氮原子产额和气体配比的关系.该文还用光谱方法估算了等离子体的温度与电子密度,讨论了温度、电子密度和放电气体的成分、配比、气压之间的关系,以及制备氮化物材料时使用氮、氨混合气体的有利之处.该文利用氮气和混合气体的脉冲放电,直接合成了碳氮膜.
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