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本文研究了化学沉积稀土Fe-B合金薄膜的制备工艺、组织结构和磁学性能。采用正交试验法设计并确定了化学沉积Fe-B-RE合金的前处理工艺和最佳配方,制备出试样,考察了合金薄膜的微观形貌和组织结构,测定了镀液的电化学特性、薄膜的磁学性能。在化学沉积Fe-B合金薄膜中添加稀土镧和铈,探讨它们对合金薄膜的沉积工艺、微观形貌、组织结构和磁学性能的作用机理和影响方式,以期获得综合性能优异的化学沉积Fe-B-RE半硬磁性合金薄膜。结果表明:与基体的前处理中无敏化活化相比,对基体沉积前采用敏化活化前处理得到的薄膜与