文章对热释电传感器的历史和发展进行描述,同时对所选用的铌酸锂晶体的特点及强电场下的极化作了说明。论文描述了热释电效应的原理,最后对热释电敏感头的整个实验过程作了说明。敏感头的制作主要有键合、减薄、镀膜、封装四个过程,本文分别对四个过程的原理及操作过程以及实验中的一些重要问题做了详细的描述。键合是热释电敏感头制作过程中重要的一步,键合的好坏直接关系到研磨能否顺利进行,本文对键合的原理、独立设计的键合工具、试验过程中键合的步骤做了详细的描述。研磨是热释电敏感头制作过程中最重要的一个步骤,研磨的质量决定着敏感头信号的强弱及可达到的最大频率,论文描述了研磨的原理,独立设计的研磨工具及整个试验的工艺过程,最后对研磨中的崩边现象做了相信的分析。镀膜为热释电敏感头提供上下电极,镀膜的质量影响上下极板的电阻及电极板的面积。对敏感头的封装可使器件集成,减小外界干扰,使器件的强度可可靠性增加。论文对镀膜及封装的原理、试验的步骤、其中的一些问题进行了分析描述。敏感头制作过程中最重要的一步就是研磨,研磨的质量对敏感头的质量起着决定性的作用。本文就研磨后的厚度、粗糙度及键合和研磨共同作用后的残余应力做了详细的分析,并对敏感头信号的提取电路及信号提取过程的实验做了详细的描述,最后对实验得出的信号作了详细的分析。