因在微结构及多种材料的加工中表现出极强的发展潜力,微细铣削加工技术受到了广泛的关注,但微铣刀的制备工艺是制约微细铣削技术发展的难点之一。其常用材料聚晶金刚石(PCD)、硬质合金不但具有高硬度、高强度、高耐磨性,而且还具有高熔点、抗腐蚀性强等特点,不但是切削加工,即使采用常规的电火花加工技术,进行此类材料的加工也具有一定的难度。本文首先全面系统地综述了国内外微铣刀加工工艺的研究现状以及电火花加工用脉冲电源和伺服系统的研究现状。在深入研究电火花加工材料去除机理和极间能量分配的基础上,分析了PCD和硬质合金的材料性能特点对其电火花加工效率的影响,得出了用于加工这两类材料的脉冲电源所应具备的特点。综合影响微铣刀加工质量和加工效率等方面,制订出了脉冲电源的主要参数范围。接着设计了以TMSLFDSP2407A为脉冲发生器的脉冲电源,并进行了性能的初步验证。脉冲电源由高压回路、低压回路、放电状态检测回路构成,高压回路击穿间隙,低压回路输出加工电流,各种参数分别可在一定范围内可调。最后设计出了以直线电机为伺服机构的微细电火花加工控制系统,并制定出了相应的控制策略。选用LabWindows/CVI软件编制了人机交换对话软件,满足了脉冲电源参数及放电状态判断参数的输入控制。