Ag对氮化物薄膜微结构及性能影响的研究

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【摘要】

：

采用磁控溅射技术在304不锈钢薄片与单晶硅片上沉积制备了一系列Ag含量不同的氮化物复合膜,利用一系列的检测设备对实验制备不同复合膜的微观相结构、力学性能以及各温度下摩擦磨损性能进行表征测量,利用的设备为纳米压痕仪、X射线衍射仪(XRD)、高温摩擦磨损试验仪、扫描电子显微镜(SEM)及其能谱仪、三维形貌仪、透射电子显微镜(TEM)。综合研究了软质贵金属Ag元素对WNbN-Ag复合膜、NbN-Ag复合

【作者】

：

林晏磊

【机构】

：

江苏科技大学

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

软质Ag 氮化物薄膜微结构力学性能摩擦磨损性能

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