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随着现代社会对环境保护意识的增强,各种真空泵得到越来越广泛的应用,轴承是真空泵中常用的零件,所以对真空泵的轴承故障诊断也势在必行。传统的频谱分析故障诊断方法主要为功率谱法。但在频率分辨率较低的情况下,功率谱法很难准确地提取故障特征频率。频谱细化方法是一种可以提高频率分辨率的频谱分析手段,将此方法应用到真空泵的轴承故障诊断研究中,具有重要的理论和实际意义。首先概述了滚动轴承的振动机理。研究了常用的滚动轴承故障振动诊断方法及其应用场合。重点介绍了精密诊断方法中的几种谱分析方法:幅值谱法、自功率