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LaB6纳米材料在紫外-可见-近红外具有优异的选择吸收特性,近年来被广泛应用于等离子体阴极,有望替代ITO、ATO、ZAO等氧化物透明导电薄膜材料在透明隔热材料领域的应用。目前,对LaB6阴极靶材的的制备工艺及其对溅射薄膜的组织和性能的影响的研究罕见报道,对透明柔性LaB6薄膜的制备和性能的研究还未见报道,研究具有优异性能的透明柔性LaB6薄膜材料具有重大意义。本文采用碳热还原法获得高纯LaB6粉末。研究富硼LaB6靶材制备工艺和化学当量。研究磁控溅射工艺对薄膜组织结构、力学性能和光学性能的影响,分