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基底表面有序的纳米结构薄膜在现代科技领域中有着广泛的应用,具研究成果转化为生产力的速度越来越快。在原子尺度上揭示纳米薄膜形成初期粒子的扩散、成核等微观过程对改进和优化薄膜生长工艺、提高薄膜的性能具有重要意义。实验上可以利用扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)来观察薄膜的微观形成过程,而理论上,由于不同的理论方法适合不同的时间和空间尺度,需要用与实际生长过程相匹配的理论来研究这一运动规律。本文采用了密度泛函理论(DFT)和动力学蒙特卡罗(kMC)模拟相结合的方法。先用DFT计算了沉积原子在