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颗粒金属是指金属和绝缘体的复合材料,而颗粒锡膜则属于另一种形式的颗粒金属,它形成于金属薄膜沉积的初始阶段,由表面覆盖高阻值氧化物的金属颗粒组成。由于独特的结构,颗粒锡膜电导性在原子尺度上极其不均匀,超导性、光学、电学以及结构特性均引起了人们极大的兴趣,成为研究的对象。本文利用电阻式真空蒸镀系统在室温和高温氧氛围下制备出了颗粒锡膜,并对其形貌和气敏性进行了探索。为了探索颗粒锡膜形成的具体条件及基片温度、氧压和蒸发功率对颗粒锡膜形貌的影响,利用电阻式真空蒸镀系统结合自制蒸发源在室温和加热基片两种