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YBa2Cu3O7-δ(YBCO)带材具有载流水平高、不可逆场高、磁场下超导性能好、成本较低等优势,其市场潜力巨大。离子束辅助沉积(IBAD)是YBCO的主要技术路线之一。在IBAD路线中,LaMnO3(LMO)缓冲层作为YBCO超导薄膜的生长面,对YBCO的性能起到直接的决定作用。双面超导带材能获得单面带材的2倍载流能力(理论上),所以其具备更好的工程应用前景。双面带材需要双面LMO为YBCO提供生长面,所以双面LMO缓冲层的制备是首要克服的难题。本文以双面homo-epi(同质外延)MgO/IBAD-MgO/SDP(溶液沉积表面平坦化)-Y2O3/哈氏合金作为衬底,利用中频(MF)磁控反应溅射进行双面LMO缓冲层的制备研究。主要内容如下:1、对系统的加热装置进行改进,实现了基带上通电流从而基带发热为薄膜提供所需沉积温度。这种加热装置结构简单、双面温度一致性好、成本低,所以制备双面LMO薄膜的效果比较好。2、对中频磁控反应溅射方法的三种电源工作模式制备LMO薄膜的特性、LMO薄膜的沉积速率、LMO薄膜的成分、LMO薄膜的平整性进行了研究,得到以下几个结论:1)恒功率和恒流工作模式制备LMO薄膜均有比较明显的迟滞效应,恒压模式下不存在迟滞效应,并且工作点比较稳定,适合用于LMO薄膜的制备;2)中频反应溅射比起直流、射频反应溅射能获得更高的沉积速率,LMO薄膜沉积速率可达100 nm/min以上;3)由温度引起的LMO薄膜成分变化不明显;4)LMO薄膜十分平整,比较致密,没有裂纹。3、研究了溅射电压、氧通量、沉积温度、工作气体(氩气)气压、走带角度、走带速率对LMO薄膜织构及表面形貌的影响,并得出了LMO薄膜的最优生长工艺。在最优生长工艺下进行模拟双面LMO薄膜的沉积,获得了双面一致性高且质量也较高的LMO薄膜,其两面面内织构均为约4.7°,面外织构均为约2.7°,RMS(表面均方根粗糙度)均为约1.3 nm。并且LMO薄膜在MgO的基础上能得到0.8-1.2°的面外织构和1-2°的面内织构改善。我们在LMO上制备单面YBCO超导薄膜,其临界电流密度(Jc)为3.2 MA/cm2,验证了MF-LMO良好的实用性。4、对双面LMO薄膜长带的快速制备进行研究,长约20米的双面LMO缓冲层已被制备出来,单面长带的织构和表面形貌均具有较高的均匀性,制备速率达40 m/h(膜厚约45 nm)。