基于兰姆波声学压力传感器的微化学反应跟踪微系统的设计和制造

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微化学反应器是一种能够通过控制化学反应的流速等方式控制化学反应进程的微型化学设备,可以大大缩短反应时间提高反应效率并且集成化程度高,可以与微小的传感芯片相集成,近年来得到越来越广泛的重视。追踪微化学反应对于表征化学反应进程中的相关参数,如化学反应速率、转化率、平衡常数、最适温度等发挥了很重要的作用。现有的一些方法通常不易与微化学反应器集成,因此不适用于微化学反应中并且无法实现实时在线检测。为了实现对于有气态物质生成的微化学反应的实时在线追踪,在本文中设计了一种基于兰姆波(Lamb Wave)声学压力传感器的微化学反应微系统,通过检测压力变化来追踪化学反应进程。基于声波谐振器的压力传感器具有的灵敏度高、输出响应呈线性和便于集成等优势。本文介绍了氮化铝(ALN)兰姆波微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)谐振器的设计与制造,以及其在检测压力、搭建系统构成微化学反应跟踪器实时在线监测酶促反应和与聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)薄膜集成实时在线监测流速方面的应用。本文首先介绍了ALN兰姆波的概况,包括它的工作原理、兰姆波特性以及其性能参数和MEMS制造工艺。其次,采用具有优良压电性能的材料,开发能够以高分辨率在动态和短时间内快速检测压力信号变化的微压力传感器,并通过COMSOL有限元仿真得到了与真实实验基本吻合的结果,证明了利用兰姆波谐振器(Lamb Wave Resonator,LWR)检测压力变化的可行性。之后,利用ALN LWR压力传感器实时在线监测了过氧化氢酶(CAT)催化过氧化氢(Hydrogen peroxide,H2O2)分解的酶促反应,并通过计算得到酶反应动力学常数8)和6)((8(6)。最后,本文还通过将带有流道的PDMS和LWR压力传感器相集成,搭建了一个基于LWR压力传感器进行实时在线流速检测的系统,具有较高的重复性和灵敏度。
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