随着社会的不断进步,人们对于工业产品的要求从单一的功能需求逐渐扩展到方便快捷等多方面,因此小型化产品更多的出现在日常生活中,如平板电脑。同样,在众多工业领域,体积小、精度高的微型化设备得到了越来越广泛的应用。微尺度加工技术是获得具有微小尺寸特征零件最有效的加工手段之一,越来越受到研究人员的重视。硬脆材料由于其具有的耐磨性好,耐腐蚀性强,热稳定性好,高温高强度等优点在工业中的应用日渐广泛,对这种难加工材料的工艺性研究显得十分重要。本论文针对石英玻璃和氧化铝陶瓷的微尺度磨削加工进行了一系列研究,主要考察磨削参数对微尺度磨削过程中力热特性的影响。(1)分析微尺度磨削与传统磨削过程的不同之处,在传统磨削理论研究的基础之上,结合微尺度磨削的特点,建立了适用于微尺度磨削的单颗磨粒切削的磨削力和温度场的数学模型。(2)对有限元仿真原理进行了介绍,通过ABAQUS有限元分析软件建立单磨粒仿真磨削模型,分析了磨削深度和切削速度这两个加工参数对磨削力和接触区磨削温度的影响。(3)介绍了实验设备以及实验中使用材料的特性,制定了实验方案。实验过程中对测温方案进行了探索研究,根据热电偶的测温原理以及微尺度磨削的特点,最终制作出具有良好测量效果的人工热电偶,搭建了一套完整的测温系统。(4)实验研究中针对磨削深度和进给速度对材料在微尺度磨削过程中的磨削力和接触区磨削温度的影响规律进行了考察,对实验数据进行了整理分析,对热力特性进行了探讨。最后,总结了论文的主要结论和课题研究中的不足之处,对未来的研究方向提出了建议。