本文以高精度零件在高速五轴数控机床上的加工技术与实现为研究背景，利用UG建模技术与ANSYS有限元分析软件，对惯组本体结构进行了模态分析，利用MSC.Marc分析软件求解非线性问题的能力对切削过程进行了模拟，设计了加工中必备的夹具，合理地选择了加工参数，提出了高精度零件的加工方法。主要的工作内容如下：首先进行了惯组本体的精度分析，主要分析了零件底面与正面的所有精加工面的精度，对加工过程中会出现的难点进行了工艺性分析。其中，为了保证正面所有精加工面的精度，从工艺性出发，对底面的工艺基准提高了加工要求。通过UG软件，进行了三维建模与模型简化。其次，建立了惯组本体的有限元模型，利用ANSYS有限元分析软件，对其进行了比较完整的动力学分析，获取了惯组本体的固有频率及各阶振型。更深入地，利用MSC.Marc网格重建功能，对刀具切削过程进行了非线性分析，有效地对加工工艺参数进行了评估，它为在加工过程中的参数选择提供了有效的理论依据。再次，设计了加工零件的两种夹具体，根据五轴数控机床翻转、旋转的空间范围及零件的结构与精度，对夹具尺寸进行了合理的设计。并对夹具体上安装零件后进行了干涉分析，保证了夹具的实用、简洁、安全。最后，分析了加工过程中产生误差的多种来源，对机床本身进行误差检测与补偿；选用高速动平衡刀具，保证高速旋转的刀具不发生颤振。合理选择了加工切削参数及新颖的装夹与走刀方式。然后进行了零件的精密加工。从验证结果看，零件精度得到了保证，采取的方法与措施有效可行。综上，本文完成了惯组本体的结构动力学分析、切削过程模拟和加工时的误差分析，选用了合理的工艺参数与工艺方法，验证了高精度零件的可加工性与工艺方案的正确性，为精密零件的加工提供了参考与借鉴。