论文部分内容阅读
近年来,在微机电系统的设计和应用过程中,全面了解系统在特定尺度内材料的热物性、热行为已成为迫在眉捷的任务。于是微米/纳米尺度传热学这门新兴学科应运而生。与传统学科相同,实验测试是研究的基本手段之一。其中对薄膜材料的热物性特别是热扩散率的测试和理论分析正在成为国内外研究的热点之一。 本文首先介绍了薄膜热扩散率的外延与内涵,并着重介绍了微尺度条件对其产生的影响。接着讨论了几种用于测试不同材料和结构的薄膜样品的热扩散率的方法,比较了这几种方法的异同与优缺点。然后深入讨论了交流量热